陶瓷柱塞是采用現代工程陶瓷材料，利用陶瓷金屬化粘接、焊接、鑲嵌及套接技術組裝成型的一種高性能部件，是同類金屬泵理想的替代產品，已廣泛應用于醫藥器械、環境工程、石油、化工等行業。

但陶瓷柱塞的生產工藝流程需結合材料特性與精密加工要求，不同材質（如氧化鋁、氧化鋯、碳化硅）的工藝細節略有差異，但核心流程具有共通性。

一、原料制備與預處理

原料選擇與配比

根據材質需求（如 95% 氧化鋁、氧化鋯、碳化硅等），選用高純度粉末（純度通常≥99%），并按配方添加燒結助劑（如氧化釔用于穩定氧化鋯）、分散劑等。

示例：氧化鋁陶瓷原料需混合氧化鋁粉末、燒結助劑（如 MgO），確保粒徑均勻（通?！?μm），以保證燒結后密度。

混料與造粒

采用球磨機、行星式混料機等設備，將原料與去離子水、分散劑混合，通過研磨球（陶瓷球）攪拌均勻，形成漿料。

漿料經噴霧干燥造粒，制成流動性好的顆粒（粒徑約 50-200μm），便于后續成型。

二、成型工藝

根據柱塞尺寸、精度要求選擇成型方式，常見工藝包括：

干壓成型

適用于中小尺寸柱塞，將造粒后的原料填入模具，在液壓機下以 100-300MPa 壓力壓制，形成坯體。

優勢：效率高、成本低，但復雜結構需二次加工。

等靜壓成型（冷等靜壓 / 熱等靜壓）

冷等靜壓（CIP）：將干壓坯體裝入橡膠模具，放入高壓容器中，通過液體傳遞壓力（100-200MPa），使坯體密度均勻，減少燒結變形。

熱等靜壓（HIP）：用于碳化硅等難燒結材料，在高溫（1800-2200℃）和高壓（100-200MPa）下燒結成型，密度可達理論值 99% 以上。

注射成型（MIM）

適用于復雜結構柱塞，將原料與粘結劑混合成喂料，通過注射機注入模具，經脫脂（去除粘結劑）后燒結，精度可達 ±0.05mm。

三、燒結工藝

脫脂（僅注射成型需此步驟）

通過低溫加熱（300-600℃）或溶劑溶解，去除坯體中的粘結劑，避免燒結時產生氣孔。

高溫燒結

根據材質設定燒結溫度與保溫時間：

氧化鋁陶瓷：1600-1700℃，保溫 2-4 小時，燒結后密度≥3.85g/cm3。

氧化鋯陶瓷：1450-1600℃，保溫 2-3 小時，需控制氧分壓防止相變。

碳化硅陶瓷：1900-2200℃（添加燒結助劑時），或 2400℃以上（無助劑），需在惰性氣氛中燒結，避免氧化。

燒結后坯體收縮率約 15%-25%，需精確計算模具尺寸補償。

四、精密加工

燒結后的陶瓷柱塞硬度高（HV≥1500），需采用特殊加工手段：

研磨與拋光

外圓研磨：使用金剛石砂輪（粒度 #800-#2000）在高精度外圓磨床上加工，控制圓柱度≤0.005mm，表面粗糙度 Ra≤0.2μm。

內孔研磨：采用金剛石鉸刀或研磨棒，配合研磨膏（如碳化硼），保證內孔與柱塞的配合間隙≤0.01mm。

鏡面拋光：使用聚氨酯拋光墊 + 金剛石微粉（粒徑 1-5μm），使表面粗糙度 Ra≤0.05μm，滿足自潤滑微孔結構需求。

微孔加工（自潤滑結構）

通過激光雕刻、電化學腐蝕或機械研磨等方式，在柱塞工作面形成均勻分布的微孔（直徑 5-50μm，深度 10-30μm），儲存潤滑劑，降低摩擦。

五、表面處理與后加工

清洗與消毒

采用超聲波清洗（丙酮 / 酒精 + 去離子水），去除表面雜質，醫藥級柱塞需通過高溫蒸汽滅菌（121℃，30 分鐘）。

金屬化與裝配

若需與金屬部件連接（如柱塞桿），需通過陶瓷金屬化技術（如 Mo-Mn 法）在陶瓷表面鍍覆金屬層（Ni、Ag 等），再通過釬焊（如銀銅焊料）焊接，確保結合強度≥200MPa。

性能檢測

尺寸精度：使用三坐標測量儀（CMM）檢測直徑、圓柱度、垂直度等，公差控制在 ±0.01mm 以內。

表面質量：光學顯微鏡觀察表面粗糙度、微孔分布，確保無裂紋、氣孔。

力學性能：測試硬度（HV）、抗彎強度（≥500MPa）、耐腐蝕性（如酸堿浸泡后重量變化≤0.1%）。

密封性能：在高壓（如 50MPa）下測試泄漏量，確?！?.1mL/min。

六、組裝與成品檢驗

與泵體裝配

將陶瓷柱塞與套筒、密封件等組裝，調整配合間隙，測試運行時的摩擦系數（≤0.1）和溫升（≤30℃）。

全檢與包裝

每件產品需通過外觀、尺寸、性能全檢，合格后用無塵紙包裝，避免劃傷，醫藥級產品需在潔凈車間（ISO8 級）完成。